(19)
(11) EP 1 509 815 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.03.2005  Patentblatt  2005/09

(21) Anmeldenummer: 03755914.3

(22) Anmeldetag:  30.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 7/039
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001781
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/102694 (11.12.2003 Gazette  2003/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 31.05.2002 DE 10224217

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ROGALLI, Michael
    84056 Rottenburg (DE)
  • VÖLKEL, Lars
    01309 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) PHOTOSENSITIVER LACK ZUR BESCHICHTUNG AUF EINEM HALBLEITER-SUBSTRAT ODER EINER MASKE