(19)
(11) EP 1 514 158 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.03.2005  Patentblatt  2005/11

(21) Anmeldenummer: 03759921.4

(22) Anmeldetag:  07.06.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 7/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/006015
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/107095 (24.12.2003 Gazette  2003/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 14.06.2002 DE 10226655

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • WEBER, Ulrich
    89073 Ulm (DE)
  • HOLDERER, Hubert
    89551 Koenigsbronn (DE)
  • REXHAEUSER, Dirk
    73447 Oberkochen (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Werner, Dr.-Ing. 
Lorenz & Kollegen,Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR POSITIONIERUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTES IN EINER STRUKTUR