(19)
(11) EP 1 514 297 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
08.04.2004

(43) Date de publication:
16.03.2005  Bulletin  2005/11

(21) Numéro de dépôt: 03755219.7

(22) Date de dépôt:  28.05.2003
(51) Int. Cl.7H01L 21/20, H01L 21/762
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2003/001615
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2003/100839 (04.12.2003 Gazette  2003/49)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK

(30) Priorité: 28.05.2002 FR 0206486

(71) Demandeur: Lumilog
06220 Vallauris (FR)

(72) Inventeurs:
  • Lahreche, Hacène
    F-75014 Paris (FR)
  • Nataf, Gilles,La Closerie Marina - Bât. A
    F-06220 Golfe Juan (FR)
  • Beaumont, Bernard
    F-06560 Valbonne (FR)

(74) Mandataire: Ahner, Francis et al
Cabinet Régimbeau20, rue de Chazelles
75847 Paris cedex 17
75847 Paris cedex 17 (FR)

   


(54) PROCEDE DE REALISATION PAR EPITAXIE D UN FILM DE NITRURE DE GALLIUM SEPARE DE SON SUBSTRAT