(19)

(11)

EP 1 514 298 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.03.2005  Patentblatt  2005/11 (21) Anmeldenummer: 03737879.1 (22) Anmeldetag:  14.05.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/28, H01L 29/51 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/001551 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/107405 (24.12.2003 Gazette  2003/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 17.06.2002 DE 10226914 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: TEWS, Helmut 81549 München (DE) (74) Vertreter: Karl, Frank  Patentanwälte Kindermann,Postfach 1330 85627 Grasbrunn 85627 Grasbrunn (DE)