(19)
(11) EP 1 514 303 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
11.03.2004

(43) Veröffentlichungstag:
16.03.2005  Patentblatt  2005/11

(21) Anmeldenummer: 03760551.6

(22) Anmeldetag:  03.06.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/768, H01L 23/522, H01L 21/316
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001827
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/001842 (31.12.2003 Gazette  2004/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 20.06.2002 DE 10227615

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BARTH, Hans-Joachim
    81245 München (DE)
  • SEZI, Recai
    91341 Röttenbach (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) SCHICHT-ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SCHICHT-ANORDNUNG