(19)
(11) EP 1 516 167 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.03.2005  Patentblatt  2005/12

(21) Anmeldenummer: 03759809.1

(22) Anmeldetag:  13.02.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01L 9/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000422
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/106955 (24.12.2003 Gazette  2003/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR

(30) Priorität: 12.06.2002 DE 10226034

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GUENSCHEL, Roland
    72770 Reutlingen (DE)
  • MUEHLHEIM, Richard
    72076 Tuebingen (DE)
  • ZAPPEL, Bernhard
    72669 Unterensingen (DE)
  • PINTER, Stefan
    72762 Reutlingen (DE)
  • BENZEL, Hubert
    72124 Pliezhausen (DE)
  • MUCHOW, Joerg
    72124 Pliezhausen (DE)
  • WEIBLEN, Kurt
    72555 Metzingen (DE)

   


(54) SENSOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SENSORS