(19)
(11)
EP 1 516 195 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
23.03.2005
Patentblatt 2005/12
(21)
Anmeldenummer:
03740110.6
(22)
Anmeldetag:
25.06.2003
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
G01R
31/316
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002112
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/001432
(
31.12.2003
Gazette 2004/01)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
(30)
Priorität:
25.06.2002
DE 10228284
(71)
Anmelder:
Infineon Technologies AG
81669 München (DE)
(72)
Erfinder:
VON HAGEN, Jochen
83059 Kolbermoor (DE)
(74)
Vertreter:
Dokter, Eric-Michael
Anwaltskanzlei,Viering, Jentschura & Partner,Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)
(54)
ELEKTROMIGRATIONS-TESTVORRICHTUNG UND ELEKTROMIGRATIONS-TESTVERFAHREN