(19)
(11) EP 1 516 195 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.03.2005  Patentblatt  2005/12

(21) Anmeldenummer: 03740110.6

(22) Anmeldetag:  25.06.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01R 31/316
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002112
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/001432 (31.12.2003 Gazette  2004/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 25.06.2002 DE 10228284

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • VON HAGEN, Jochen
    83059 Kolbermoor (DE)

(74) Vertreter: Dokter, Eric-Michael 
Anwaltskanzlei,Viering, Jentschura & Partner,Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) ELEKTROMIGRATIONS-TESTVORRICHTUNG UND ELEKTROMIGRATIONS-TESTVERFAHREN