(19)
(11) EP 1 516 359 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
05.02.2004

(43) Veröffentlichungstag:
23.03.2005  Patentblatt  2005/12

(21) Anmeldenummer: 03720555.6

(22) Anmeldetag:  07.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/004792
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/096357 (20.11.2003 Gazette  2003/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 07.05.2002 DE 10220360

(71) Anmelder:
  • Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH & Co. KG
    83413 Fridolfing (DE)
  • Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH & Co.
    83413 Fridolfing (DE)

(72) Erfinder:
  • GLUCHE, Peter
    89073 Ulm (DE)
  • ERTL, Stephan
    89075 Ulm (DE)
  • GROBE, Dirk
    81927 München (DE)

(74) Vertreter: Zeitler, Giselher et al
Herrnstrasse 44
80539 München
80539 München (DE)

   


(54) ELEKTRISCHES WIDERSTANDS-BAUELEMENT AUF DIAMANTBASIS