(19)
(11) EP 1 516 374 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.03.2005  Patentblatt  2005/12

(21) Anmeldenummer: 03729898.1

(22) Anmeldetag:  02.06.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/20, H01L 51/40
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001794
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/004022 (08.01.2004 Gazette  2004/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT NL

(30) Priorität: 27.06.2002 DE 10228772

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • ZSCHIESCHANG, Ute
    91058 Erlangen (DE)
  • KLAUK, Hagen
    91058 Erlangen (DE)
  • SCHMID, Günter
    91334 Hemhofen (DE)
  • HALIK, Marcus
    91058 Erlangen (DE)
  • TERZOGLU, Efstratios
    91052 Erlangen (DE)

(74) Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter, Dipl.-Ing. 
Patentanwälte,Müller . Hoffmann & Partner,Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) VERRINGERUNG DES KONTAKTWIDERSTANDES IN ORGANISCHEN FELDEFFEKTTRANSISTOREN MIT PALLADIUMKONTAKTEN DURCH VERWENDUNG VON NITRILEN UND ISONITRILEN