(19)

(11)

EP 1 518 266 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 30.03.2005  Patentblatt  2005/13 (21) Anmeldenummer: 03732493.6 (22) Anmeldetag:  30.05.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/331, H01L 29/737 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/005658 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2003/105211 (18.12.2003 Gazette  2003/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 10.06.2002 DE 10225525 (71) Anmelder: United Monolithic Semiconductors GmbH 89081 Ulm (DE)	(72) Erfinder: BEHAMMER, Dag 89079 Ulm (DE) (74) Vertreter: Weber, Gerhard, Dipl.-Phys.  PatentanwaltPostfach 2029 89010 Ulm 89010 Ulm (DE)