(19)

(11)

EP 1 518 267 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 01.04.2004 (43) Veröffentlichungstag: 30.03.2005  Patentblatt  2005/13 (21) Anmeldenummer: 03761433.6 (22) Anmeldetag:  25.06.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/56, H01L 23/29, H01L 23/31, H01L 23/495, H01L 23/498, H01L 25/065, H01L 25/16 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/002119 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/003991 (08.01.2004 Gazette  2004/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 26.06.2002 DE 10228593 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: STEINER, Rainer 93049 Regensburg (DE) THEUSS, Horst 93173 Wenzenbach (DE) (74) Vertreter: Schäfer, Horst, Dr.  Schweiger & PartnerPatent- und RechtsanwälteKarl-Theodor-Strasse 69 80803 München 80803 München (DE)