(19)
(11) EP 1 520 210 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
16.09.2004

(43) Veröffentlichungstag:
06.04.2005  Patentblatt  2005/14

(21) Anmeldenummer: 03762496.2

(22) Anmeldetag:  18.06.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 19/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/006397
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/006021 (15.01.2004 Gazette  2004/03)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 08.07.2002 DE 10230652

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73446 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • BADER, Dieter
    73571 Göggingen (DE)
  • RENG, Norbert
    10317 Berlin (DE)
  • WANGLER, Johannes
    89551 Königsbronn (DE)

(74) Vertreter: Schwanhäusser, Gernot et al
Ostertag & PartnerPatentanwälteEibenweg 10
70597 Stuttgart
70597 Stuttgart (DE)

   


(54) OPTISCHE VORRICHTUNG MIT EINER BELEUCHTUNGSQUELLE