(19)
(11) EP 1 520 295 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
09.12.2004

(43) Date de publication:
06.04.2005  Bulletin  2005/14

(21) Numéro de dépôt: 03762727.0

(22) Date de dépôt:  02.07.2003
(51) Int. Cl.7H01L 21/48, H01L 21/60
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2003/002056
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2004/006324 (15.01.2004 Gazette  2004/03)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 05.07.2002 FR 0208451

(71) Demandeur: Commissariat A L'Energie Atomique
75752 Paris 15ème (FR)

(72) Inventeurs:
  • BALERAS, François
    F-38170 SEYSSINET (FR)
  • RENARD, Pierre
    F-38000 GRENOBLE (FR)
  • ROSSAT, Cyrille
    F-38100 GRENOBLE (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard 
Brevatome3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION DE FILM CONDUCTEUR ANISOTROPE A INSERTS CONDUCTEURS POINTUS