(19)

(11)

EP 1 521 998 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 24.06.2004 (43) Date de publication: 13.04.2005  Bulletin  2005/15 (21) Numéro de dépôt: 03750814.0 (22) Date de dépôt:  17.07.2003

(51) Int. Cl.7: G03F 7/20 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2003/002256 (87) Numéro de publication internationale: WO 2004/010226 (29.01.2004 Gazette  2004/05)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL LT LV MK (30) Priorité: 17.07.2002 FR 0209030 (71) Demandeur: Automa-Tech 27100 Val de Reuil (FR)	(72) Inventeurs: VIBET, Gilles F-76140 Petit Quevilly (FR) LE BOUCHER, Arnaud F-76160 DARNETAL (FR) (74) Mandataire: Dronne, Guy  Cabinet Beau de Loménie,158, rue de l'Université 75340 Paris Cedex 07 75340 Paris Cedex 07 (FR)