(19)
(11) EP 1 522 094 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.04.2005  Patentblatt  2005/15

(21) Anmeldenummer: 03763579.4

(22) Anmeldetag:  26.06.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/3213
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002125
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/008520 (22.01.2004 Gazette  2004/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB IE IT

(30) Priorität: 11.07.2002 DE 10231533

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BACHMANN, Jens
    01109 Dresden (DE)
  • BRENCHER, Lothar
    01454 Dresden (DE)
  • SPERLICH, Hans-Peter
    01309 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Hudler, Frank, Dipl.-Ing. 
Lippert, Stachow & PartnerKrenkelstrasse 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR METALLSTRUKTURIERUNG MITTELS KOHLENSTOFF-MASKE