(19)

(11)

EP 1 522 101 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.04.2005  Patentblatt  2005/15 (21) Anmeldenummer: 03720179.5 (22) Anmeldetag:  14.03.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/092 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/000835 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/004010 (08.01.2004 Gazette  2004/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 28.06.2002 DE 10229265 (71) Anmelder: STMicroelectronics N.V. 1118 BH Schiphol Airport Amsterdam (NL)	(72) Erfinder: GUENTHER, Stefan 01259 Dresden (DE) (74) Vertreter: Hudler, Frank, Dipl.-Ing.  Lippert, Stachow & PartnerKrenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)