(19)

(11)

EP 1 522 103 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.04.2005  Patentblatt  2005/15 (21) Anmeldenummer: 03787593.7 (22) Anmeldetag:  12.06.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/78, H01L 21/336 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/001957 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/017417 (26.02.2004 Gazette  2004/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 15.07.2002 DE 10231966 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: KAKOSCHKE, Ronald 81475 München (DE) TEWS, Helmut 81549 München (DE) (74) Vertreter: Kindermann, Peter et al Kindermann PatentanwältePostfach 1330 85627 Grasbrunn 85627 Grasbrunn (DE)