(19)
(11) EP 1 523 774 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.04.2005  Patentblatt  2005/16

(21) Anmeldenummer: 03787690.1

(22) Anmeldetag:  19.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/762, H01L 21/763
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002435
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/017401 (26.02.2004 Gazette  2004/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 22.07.2002 DE 10233208

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULER, Franz
    01109 Dresden (DE)
  • TEMPEL, Georg
    B-1933 Sterrebeek (BE)

(74) Vertreter: Karl, Frank 
Patentanwälte Kindermann,Postfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) HALBLEITERBAUELEMENT MIT GRABENISOLIERUNG SOWIE ZUGEHÖRIGES HERSTELLUNGSVERFAHREN