(19)
(11) EP 1 525 334 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.04.2005  Patentblatt  2005/17

(21) Anmeldenummer: 03783928.9

(22) Anmeldetag:  23.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/02, B32B 31/00, H01G 9/04, B26F 1/26, H01J 37/31, B29C 59/16
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002533
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/015161 (19.02.2004 Gazette  2004/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 24.07.2002 DE 10234614

(71) Anmelder:
  • Fractal AG
    39418 Stassfurt (DE)
  • IST Ionenstrahltechnologie GmbH
    06484 Quedlinburg (DE)

(72) Erfinder:
  • DANZIGER, Manfred
    06484 Quedlinburg (DE)

(74) Vertreter: Heyner, Klaus, Dr.-Ing. et al
PatentanwaltMittelweg 1H
01728 Bannewitz
01728 Bannewitz (DE)

   


(54) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR BEARBEITUNG VON TRÄGERMATERIAL DURCH SCHWERIONENBESTRAHLUNG UND NACHFOLGENDEN ÄTZPROZESS