(19)
(11) EP 1 525 607 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.04.2005  Patentblatt  2005/17

(21) Anmeldenummer: 03735681.3

(22) Anmeldetag:  25.06.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00, C23C 14/35, C23C 14/34
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/006710
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/015748 (19.02.2004 Gazette  2004/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 31.07.2002 DE 10234861

(71) Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DERANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WINKLER, Torsten
    01454 Radeberg (DE)
  • GOEDICKE, Klaus
    01307 Dresden (DE)
  • BLUETHNER, Ralf
    01445 Radebeul (DE)
  • LIEBIG, Jörn-Steffen
    01328 Dresden, OT Malschendorf (DE)

   


(54) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR WECHSELWEISEN ABSCHEIDUNG ZWEIER MATERIALIEN DURCH KATHODEN-ZERSTÄUBUNG