(19)
(11) EP 1 532 294 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
20.01.2005

(43) Veröffentlichungstag:
25.05.2005  Patentblatt  2005/21

(21) Anmeldenummer: 03790658.3

(22) Anmeldetag:  30.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 18/16, C23C 18/20, C25D 5/56
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002560
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/020696 (11.03.2004 Gazette  2004/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 21.08.2002 DE 10238284

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KARL, Andreas
    93105 Tegernheim (DE)
  • MÜLLER-HIPPER, Andreas
    93055 Regensburg (DE)
  • SIMMERLEIN-ERLBACHER, Ewald
    91257 Pegnitz (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SCHAUMFÖRMIGEN METALLSTRUKTUR, METALLSCHAUM SOWIE ANORDNUNG AUS EINEM TRÄGERSUBSTRAT UND EINEM METALLSCHAUM