(19)
(11) EP 1 532 485 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.09.2004

(43) Veröffentlichungstag:
25.05.2005  Patentblatt  2005/21

(21) Anmeldenummer: 03755549.7

(22) Anmeldetag:  26.08.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 7/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/009427
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/025368 (25.03.2004 Gazette  2004/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 28.08.2002 DE 10239344

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • HOF, Albrecht
    73430 Aalen (DE)
  • MAUL, Günter
    73431 Aalen (DE)
  • GAIL, Lothar
    65189 Wiesbaden (DE)
  • SCHIERHOLZ, Wilfried
    65239 Hochheim (DE)
  • JOST, Eberhard
    65795 Hattersheim (DE)

(74) Vertreter: Schultz, Jörg Martin, Dipl.-Phys. et al
Carl ZeissPatentabteilung
73446 Oberkochen
73446 Oberkochen (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM ABDICHTEN EINER PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE