(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
(30) |
Priorität: |
28.08.2002 DE 10239344
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(71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG |
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73447 Oberkochen (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- HOF, Albrecht
73430 Aalen (DE)
- MAUL, Günter
73431 Aalen (DE)
- GAIL, Lothar
65189 Wiesbaden (DE)
- SCHIERHOLZ, Wilfried
65239 Hochheim (DE)
- JOST, Eberhard
65795 Hattersheim (DE)
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(74) |
Vertreter: Schultz, Jörg Martin, Dipl.-Phys. et al |
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Carl ZeissPatentabteilung 73446 Oberkochen 73446 Oberkochen (DE) |
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