(19)
(11) EP 1 532 488 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.05.2005  Patentblatt  2005/21

(21) Anmeldenummer: 03732444.9

(22) Anmeldetag:  23.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G02B 7/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/005387
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/021085 (11.03.2004 Gazette  2004/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 27.08.2002 DE 10240002

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • SINGER, Wolfgang
    73431 Aalen (DE)
  • HAINZ, Joachim
    73430 Aalen (DE)
  • WIETZORREK, Joachim
    73430 Aalen (DE)
  • WEISS, Markus
    73430 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Sawodny, Michael-Wolfgang et al
Dreiköniggasse 10
89073 Ulm
89073 Ulm (DE)

   


(54) OPTISCHES TEILSYSTEM INSBESONDERE FÜR EINE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT MINDESTENS EINEM IN MINDESTENS ZWEI STELLUNGEN VERBRINGBAREN OPTISCHEN ELEMENT