SUPPORT DE GARNITURE ET PROCEDE DE GARNITURE SELECTIVE DE PLAGES CONDUCTRICES D UN TEL SUPPORT - Patent 1532665

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EP 1 532 665 A2

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(88)	Date de publication A3:
	08.04.2004

(43)	Date de publication:
	25.05.2005 Bulletin 2005/21

(21)	Numéro de dépôt: 03792451.1

(22)	Date de dépôt: 26.08.2003

(51)	Int. Cl.⁷: H01L 21/00

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2003/050042

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2004/019385 (04.03.2004 Gazette 2004/10)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK

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Priorité:

26.08.2002 FR 0210566

(71)	Demandeur: Alchimer S.A.
	91400 Orsay (FR)

(72)	Inventeurs:
	BUREAU, Christophe F-92150 Suresnes (FR) PERRUCHOT, François F-92130 Issy les Moulineaux (FR) KERGUERIS, Christophe F-38000 Grenoble (FR)

(74)	Mandataire: Poulin, Gérard
	Brevatome3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	SUPPORT DE GARNITURE ET PROCEDE DE GARNITURE SELECTIVE DE PLAGES CONDUCTRICES D UN TEL SUPPORT