(19)
(11) EP 1 532 671 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.07.2004

(43) Veröffentlichungstag:
25.05.2005  Patentblatt  2005/21

(21) Anmeldenummer: 03787802.2

(22) Anmeldetag:  14.08.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/308, H01L 21/3065
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/009052
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/017361 (26.02.2004 Gazette  2004/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 14.08.2002 DE 10237249

(71) Anmelder: PerkinElmer Optoelectronics GmbH & Co. KG
65199 Wiesbaden (DE)

(72) Erfinder:
  • HAUSNER, Martin
    65193 Wiesbaden (DE)

(74) Vertreter: Beetz & PartnerPatentanwälte 
Steinsdorfstrasse 10
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ABTRAGEN VON MATERIAL AUS DER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATS, MASKIERUNGSMATERIAL FÜR EINEN WAFER UND WAFER MIT EINEM MASKIERUNGSMATERIAL