(19)
(11) EP 1 532 680 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.05.2005  Patentblatt  2005/21

(21) Anmeldenummer: 03797216.3

(22) Anmeldetag:  26.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/78, H01L 21/68
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/008276
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/027859 (01.04.2004 Gazette  2004/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 22.08.2002 DE 10238444

(71) Anmelder: United Monolithic Semiconductors GmbH
89081 Ulm (DE)

(72) Erfinder:
  • BEHAMMER, Dag
    89079 Ulm (DE)

(74) Vertreter: Weber, Gerhard, Dipl.-Phys. 
PatentanwaltPostfach 2029
89010 Ulm
89010 Ulm (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON VEREINZELTEN MONOLITHISCH INTEGRIERTEN HALBLEITERSCHALTUNGEN