(19)
(11) EP 1 532 681 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.05.2005  Patentblatt  2005/21

(21) Anmeldenummer: 03783945.3

(22) Anmeldetag:  31.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 23/498, H01L 21/48, H01L 21/68
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002575
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/015770 (19.02.2004 Gazette  2004/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 01.08.2002 DE 10235332

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DAECHE, Frank
    81825 München (DE)
  • DANGELMAIER, Jochen
    93176 Beratzhausen (DE)
  • PAULUS, Stefan
    93197 Zeitlarn (DE)
  • STADLER, Bernd
    93093 Donaustauf (DE)
  • THEUSS, Horst
    93173 Wenzenbach (DE)
  • WEBER, Michael
    84048 Mainburg (DE)

(74) Vertreter: Schäfer, Horst, Dr. 
Schweiger & PartnerPatent- und RechtsanwälteKarl-Theodor-Strasse 69
80803 München
80803 München (DE)

   


(54) MEHRLAGIGER SCHALTUNGSTRÄGER UND HERSTELLUNG DESSELBEN