(19)

(11)

EP 1 535 334 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.06.2005  Patentblatt  2005/22 (21) Anmeldenummer: 03793745.5 (22) Anmeldetag:  21.08.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/115, H01L 21/8246 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/009294 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/023556 (18.03.2004 Gazette  2004/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 05.09.2002 DE 10241171 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: HOFMANN, Franz 80995 München (DE) SCHULZ, Thomas 81737 München (DE) SPECHT, Michael 80799 München (DE) (74) Vertreter: Müller-Boré & PartnerPatentanwälte  Grafinger Strasse 2 81671 München 81671 München (DE)