(19)
(11) EP 1 535 338 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.08.2004

(43) Veröffentlichungstag:
01.06.2005  Patentblatt  2005/22

(21) Anmeldenummer: 03794774.4

(22) Anmeldetag:  31.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/115, H01L 21/8246, H01L 29/792, H01L 21/336
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002576
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/025731 (25.03.2004 Gazette  2004/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 04.09.2002 DE 10240893

(71) Anmelder:
  • Infineon Technologies AG
    81669 München (DE)
  • Infineon Technologies Flash GmbH & Co. KG.
    01099 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • DEPPE, Joachim
    01099 Dresden (DE)
  • LUDWIG, Christoph
    01465 Langebrück (DE)
  • KLEINT, Christoph
    01129 Dresden (DE)
  • WILLER, Josef
    85521 Riemerling (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SONOS-SPEICHERZELLEN, SONOS-SPEICHERZELLE UND SPEICHERZELLENFELD