(19)
(11) EP 1 535 345 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.06.2005  Patentblatt  2005/22

(21) Anmeldenummer: 03747922.7

(22) Anmeldetag:  21.08.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/792, H01L 27/115
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/009295
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/023562 (18.03.2004 Gazette  2004/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 05.09.2002 DE 10241172

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • LANDGRAF, Erhard
    81543 München (DE)
  • LUYKEN, Richard, Johannes
    81825 München (DE)
  • SCHULZ, Thomas
    81737 München (DE)
  • SPECHT, Michael
    80799 München (DE)

(74) Vertreter: Müller-Boré & PartnerPatentanwälte 
Grafinger Strasse 2
81671 München
81671 München (DE)

   


(54) HALBLEITERSPEICHER MIT VERTIKALEN SPEICHERTRANSISTOREN UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG