(19)
(11) EP 1 535 348 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.12.2004

(43) Veröffentlichungstag:
01.06.2005  Patentblatt  2005/22

(21) Anmeldenummer: 03794789.2

(22) Anmeldetag:  14.08.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/18, H01L 31/105, H01L 27/14
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/002740
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/025739 (25.03.2004 Gazette  2004/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 05.09.2002 DE 10241156

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MÜLLER, Karlheinz
    84149 Velden (DE)
  • STURM, Johannes, Karl
    A-9500 Villach (AT)

(74) Vertreter: Kindermann, Peter, Dipl.-Ing. 
Kindermann PatentanwältePostfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTEGRIERTEN PIN-DIODE UND ZUGEHÖRIGE SCHALTUNGSANORDNUNG