(19)

(11)

EP 1 537 252 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 29.12.2004 (43) Veröffentlichungstag: 08.06.2005  Patentblatt  2005/23 (21) Anmeldenummer: 03747994.6 (22) Anmeldetag:  09.09.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 8/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/010014 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/031432 (15.04.2004 Gazette  2004/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 13.09.2002 DE 10242616 (71) Anmelder: Linde Aktiengesellschaft 65189 Wiesbaden (DE)	(72) Erfinder: JURMANN, Alexander DI verstorben (DE) (74) Vertreter: Zahn, Christoph  Linde Aktiengesellschaft,Zentrale PatentabteilungDr.-Carl-von-Linde-Strasse 6-14 82049 Höllriegelskreuth 82049 Höllriegelskreuth (DE)