(19)
(11) EP 1 537 253 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.06.2005  Patentblatt  2005/23

(21) Anmeldenummer: 03735458.6

(22) Anmeldetag:  26.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 16/04, C23C 16/54
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/005473
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/100120 (04.12.2003 Gazette  2003/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 24.05.2002 DE 10223288
01.06.2002 DE 10224395
07.06.2002 DE 10225607
07.06.2002 DE 10225609
11.06.2002 DE 10225985
20.06.2002 DE 10227637
01.07.2002 DE 10229529
27.07.2002 DE 10234374
16.11.2002 DE 10253512
16.11.2002 DE 10253513
13.12.2002 DE 10258681

(71) Anmelder: SCHOTT AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • BEHLE, Stephan
    55278 Hahnheim (DE)
  • LÜTTRINGHAUS-HENKEL, Andreas
    64289 Darmstadt (DE)
  • ARNOLD, Gregor
    55294 Bodenheim (DE)
  • BICKER, Matthias
    55126 Mainz (DE)
  • KLEIN, Jürgen
    55127 Mainz (DE)

(74) Vertreter: Herden, Andreas, Dipl.-Ing. 
Blumbach - ZinngrebePatentanwälteAlexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON WERKST CKEN