(19)
(11) EP 1 537 254 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.06.2005  Patentblatt  2005/23

(21) Anmeldenummer: 03735466.9

(22) Anmeldetag:  26.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 16/04, C23C 16/54, C03C 17/00, C23C 16/44, C23C 16/458, C23C 16/455
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/005519
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/100122 (04.12.2003 Gazette  2003/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 24.05.2002 DE 10223288
31.05.2002 DE 10224546
31.05.2002 DE 10224547
01.06.2002 DE 10224395
07.06.2002 DE 10225607
07.06.2002 DE 10225609
11.06.2002 DE 10225985
20.06.2002 DE 10227637
01.07.2002 DE 10229529
27.07.2002 DE 10234374

(71) Anmelder: SCHOTT AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • BEHLE, Stephan
    55278 Hahnheim (DE)
  • LÜTTRINGHAUS-HENKEL, Andreas
    64289 Darmstadt (DE)
  • ARNOLD, Gregor
    55294 Bodenheim (DE)
  • BICKER, Matthias
    55126 Mainz (DE)
  • KLEIN, Jürgen
    55127 Mainz (DE)
  • WALTHER, Marten
    55270 Engelstadt (DE)
  • BAUCH, Hartmut
    61276 Weilrod (DE)
  • LITZENBERG, Michael
    21502 Geesthacht (DE)
  • LEWIN, Frank
    22889 Wilstedt (DE)
  • MÜLLER, Hartwig
    22952 Lütjensee (DE)
  • VOGEL, Klaus
    22885 Barsbüttel (DE)

(74) Vertreter: Herden, Andreas, Dipl.-Ing. 
Blumbach - ZinngrebePatentanwälteAlexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) VERFAREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABEHANDLUNG VON WERKST CKE N