(19)
(11) EP 1 537 394 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.06.2005  Patentblatt  2005/23

(21) Anmeldenummer: 03735275.4

(22) Anmeldetag:  06.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01L 9/00, H01L 21/78, H01L 21/30
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/001438
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/027367 (01.04.2004 Gazette  2004/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 06.09.2002 DE 10241450

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • STOLL, Oliver
    72762 Reutlingen (DE)
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil Der Stadt (DE)
  • MOERSCH, Gilbert
    70563 Stuttgart (DE)
  • FLIK, Gottfried
    71229 Leonberg (DE)
  • KUETTNER, Klaus
    70499 Stuttgart (DE)

   


(54) SOI BAUTEIL MIT STEGEN ZUR VEREINZELUNG