(19)
(11) EP 1 537 449 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.06.2005  Patentblatt  2005/23

(21) Anmeldenummer: 03794838.7

(22) Anmeldetag:  21.07.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 17/08, G03F 7/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/007917
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/025349 (25.03.2004 Gazette  2004/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 09.09.2002 US 409255 P

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • ALBERT, Michael
    Seymour, CT 06483 (US)
  • KAMENOV, Vladimir
    73447 Oberkochen (DE)

(74) Vertreter: Schwanhäusser, Gernot et al
Ostertag & PartnerPatentanwälteEibenweg 10
70597 Stuttgart
70597 Stuttgart (DE)

   


(54) KATADIOPTRISCHES PROJEKTIONSOBJEKTIV SOWIE VERFAHREN ZUR KOMPENSATION DER INTRINSISCHEN DOPPELBRECHUNG IN EINEM SOLCHEN