(19)

(11)

EP 1 537 597 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.06.2005  Patentblatt  2005/23 (21) Anmeldenummer: 03793554.1 (22) Anmeldetag:  27.08.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/34, C23C 14/34 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/CH2003/000580 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/023515 (18.03.2004 Gazette  2004/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 03.09.2002 CH 150102 (71) Anmelder: Umicore Materials AG 9496 Balzers (LI)	(72) Erfinder: LEITNER, Klaus A-6800 Feldkirch-Nofels (AT) HIERMER, Andreas, M., R. CH-9477 Trübbach (CH) (74) Vertreter: Wegmann, Urs  Saschela 3 9479 Oberschan 9479 Oberschan (CH)