(19)

(11)

EP 1 540 726 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.06.2005  Patentblatt  2005/24 (21) Anmeldenummer: 03797152.0 (22) Anmeldetag:  03.06.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/051 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/001811 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/027864 (01.04.2004 Gazette  2004/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 12.09.2002 DE 10242521 (71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: HAMSEN, Karin 72070 Tübingen (DE) SPITZ, Richard 72766 Reutlingen (DE)