(19)
(11) EP 1 541 871 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
14.09.2011  Patentblatt  2011/37

(43) Veröffentlichungstag A2:
15.06.2005  Patentblatt  2005/24

(21) Anmeldenummer: 04027043.1

(22) Anmeldetag:  13.11.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 23/00(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL HR LT LV MK YU

(30) Priorität: 10.12.2003 DE 10357546

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Fahrenbach, Peter
    35619 Braunfels (DE)

   


(54) Seitenkanalpumpstufe


(57) Die Erfindung beschreibt eine Seitenkanalpumpstufe mit auf einer Welle (10) befestigten Rotorelementen (12) und Statorelementen (14a, 14b), welche mit den feststehenden Teilen der Pumpe verbunden sind. An den Rotorelementen sind auf einem oder mehreren konzentrischen Ringen Schaufeln (16, 18) angeordnet. In den Statorelementen (14a, 14b) sind ein oder mehrere konzentrische Kanäle (22a, 24a) eingearbeitet, in welche die Schaufeln der Rotorelemente eingreifen. Die Kanäle können so angeordnet sein, dass sie eine parallele Gasführung oder, mit Hilfe von Verbindungskanälen (30), eine serielle Gasführung erlauben.







Recherchenbericht