(19)
(11) EP 1 543 375 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.06.2005  Patentblatt  2005/25

(21) Anmeldenummer: 03798901.9

(22) Anmeldetag:  11.09.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 27/48, G02B 27/14
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/010075
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/031838 (15.04.2004 Gazette  2004/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 27.09.2002 DE 10245229

(71) Anmelder: Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • MENCK, Alexander
    07743 Jena (DE)
  • BISCHOFF, Jörg
    98693 Ilmenau (DE)

   


(54) ANORDNUNG ZUR VERMINDERUNG DER KOHERENZ EINES LICHTBüNDELS