(19)
(11) EP 1 545 836 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.06.2005  Patentblatt  2005/26

(21) Anmeldenummer: 03757898.6

(22) Anmeldetag:  01.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7B24B 37/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/010869
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/033151 (22.04.2004 Gazette  2004/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 02.10.2002 DE 10247179

(71) Anmelder: Ensinger Kunststofftechnologie GbR
71154 Nufringen (DE)

(72) Erfinder:
  • ENSINGER, Wilfried
    71154 Nufringen (DE)

(74) Vertreter: Wössner, Gottfried, Dr. Dipl.-Chem. 
HOEGER, STELLRECHT & PARTNER PatentanwälteUhlandstrasse 14c
70182 Stuttgart
70182 Stuttgart (DE)

   


(54) HALTERING ZUM HALTEN VON HALBLEITERWAFERN IN EINER CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIERVORRICHTUNG