(19)
(11) EP 1 546 437 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.05.2004

(43) Veröffentlichungstag:
29.06.2005  Patentblatt  2005/26

(21) Anmeldenummer: 03757799.6

(22) Anmeldetag:  08.09.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 24/10, C04B 35/468, C04B 35/01, C04B 41/50, C23C 18/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/009945
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/028999 (08.04.2004 Gazette  2004/15)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 23.09.2002 DE 10244285
19.12.2002 DE 10260091

(71) Anmelder: BASF AKTIENGESELLSCHAFT
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • STERZEL, Hans-Josef
    67125 Dannstadt-Schauernheim (DE)

   


(54) DÜNNE FILME OXIDISCHER MATERIALIEN MIT HOHER DIELEKTRIZITÄTSKONSTANTE