(19)
(11)
EP 1 546 437 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
13.05.2004
(43)
Veröffentlichungstag:
29.06.2005
Patentblatt 2005/26
(21)
Anmeldenummer:
03757799.6
(22)
Anmeldetag:
08.09.2003
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC)
7
:
C23C
24/10
,
C04B
35/468
,
C04B
35/01
,
C04B
41/50
,
C23C
18/12
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/009945
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/028999
(
08.04.2004
Gazette 2004/15)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK
(30)
Priorität:
23.09.2002
DE 10244285
19.12.2002
DE 10260091
(71)
Anmelder:
BASF AKTIENGESELLSCHAFT
67056 Ludwigshafen (DE)
(72)
Erfinder:
STERZEL, Hans-Josef
67125 Dannstadt-Schauernheim (DE)
(54)
DÜNNE FILME OXIDISCHER MATERIALIEN MIT HOHER DIELEKTRIZITÄTSKONSTANTE