(19)
(11) EP 1 546 806 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.07.2004

(43) Veröffentlichungstag:
29.06.2005  Patentblatt  2005/26

(21) Anmeldenummer: 03773450.6

(22) Anmeldetag:  19.09.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/004
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/003178
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/031858 (15.04.2004 Gazette  2004/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 30.09.2002 DE 10246546

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DOMKE, Wolf-Dieter
    91325 Adelsdorf (DE)
  • KIRCH, Oliver
    91058 Erlangen (DE)
  • KRAGLER, Karl
    91058 Erlangen (DE)
  • LOWACK, Klaus
    91054 Erlangen (DE)

(74) Vertreter: Müller, Wolfram Hubertus, Dipl.-Phys. et al
PatentanwälteMaikowski & Ninnemann,Postfach 15 09 20
10671 Berlin
10671 Berlin (DE)

   


(54) RESISTSYSTEM, VERWENDUNG EINES RESISTSYSTEMS UND LITHOGRAPHIEVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN