(19)

(11)

EP 1 547 135 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.06.2005  Patentblatt  2005/26 (21) Anmeldenummer: 03769314.0 (22) Anmeldetag:  24.09.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/28, H01L 29/51 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/010625 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/032216 (15.04.2004 Gazette  2004/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 26.09.2002 DE 10245590 (71) Anmelder: IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics/Institut für innovative Mikroelektronik 15236 Frankfurt (Oder) (DE)	(72) Erfinder: MÜSSIG, Hans-Joachim 01259 Dresden (DE) SCHMEI ER, Dieter 03046 Cottbus (DE) (74) Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner  Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE)