(19)
(11) EP 1 549 920 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.11.2004

(43) Veröffentlichungstag:
06.07.2005  Patentblatt  2005/27

(21) Anmeldenummer: 03808674.0

(22) Anmeldetag:  08.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01J 1/42
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/003381
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/036312 (29.04.2004 Gazette  2004/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 11.10.2002 DE 10247626
10.02.2003 DE 10305573

(71) Anmelder:
  • Infineon Technologies AG
    81669 München (DE)
  • Aixuv GmbH
    52074 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • DOMKE, Wolf-Dieter
    91325 Adelsdorf (DE)
  • JUSCHKIN, Larissa
    52072 Aachen (DE)
  • KRAGLER, Karl
    91058 Erlangen (DE)
  • LEBERT, Rainer
    B-4721 Kelmis (BE)
  • MEISEN, Manfred
    52064 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Gross, Felix, Dr. et al
PatentanwälteMaikowski & NinnemannPostfach 15 09 20
10671 Berlin
10671 Berlin (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR TESTBESTRAHLUNG VON MIT PHOTOEMPFINDLICHEN LACKEN BESCHICHTETEN OBJEKTEN