(19)
(11) EP 1 549 990 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.07.2005  Patentblatt  2005/27

(21) Anmeldenummer: 03769504.6

(22) Anmeldetag:  01.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 21/24, G02B 21/26
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/050675
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/034124 (22.04.2004 Gazette  2004/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 02.10.2002 DE 10246274

(71) Anmelder: Leica Microsystems Wetzlar GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • GILBERT, Manfred
    35641 Schöffengrund (DE)

(74) Vertreter: Reichert, Werner F., Dr. 
Leica Microsystems AG,Corporate Patents + Trademarks Department,Ernst-Leitz-Strasse 17-37
35578 Wetzlar
35578 Wetzlar (DE)

   


(54) MIKROSKOP MIT KORREKTUR UND VERFAHREN ZUR KORREKTUR DER DURCH TEMPERATURÄNDERUNG HERVORGERUFENEN XYZ-DRIFT