| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
| (30) |
Priorität: |
30.09.2002 DE 10245625
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| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG |
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73447 Oberkochen (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- SINGER, Wolfgang
73431 Aalen (DE)
- ANTONI, Martin
73434 Aalen (DE)
- MELZER, Frank
73469 Utzmemmingen (DE)
- WANGLER, Johannes
89551 Königsbronn (DE)
- HAINZ, Joachim
73430 Aalen (DE)
- WIETZORREK, Joachim
73430 Aalen (DE)
- MAUL, Manfred
73434 Aalen (DE)
- WEISS, Markus
73430 Aalen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Sawodny, Michael-Wolfgang |
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Dreiköniggasse 10
89073 Ulm
89073 Ulm (DE) |
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