(19)
(11) EP 1 552 546 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.09.2004

(43) Veröffentlichungstag:
13.07.2005  Patentblatt  2005/28

(21) Anmeldenummer: 03757708.7

(22) Anmeldetag:  10.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/02, H01L 27/12, H01L 21/8242, H01L 27/108
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/003355
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/038770 (06.05.2004 Gazette  2004/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 18.10.2002 DE 10248722

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BREDERLOW, Ralf
    81827 München (DE)
  • HARTWICH, Jessica
    85579 Neubiberg (DE)
  • PACHA, Christian
    81739 München (DE)
  • RÖSNER, Wolfgang
    85521 Ottobrunn (DE)
  • SCHULZ, Thomas
    81737 München (DE)

(74) Vertreter: Karl, Frank 
Patentanwälte Kindermann,Postfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) INTEGRIERTE SCHALTUNGSANORDNUNG MIT KONDENSATOR UND HERSTELLUNGSVERFAHREN