(19)
(11) EP 1 554 058 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.07.2005  Patentblatt  2005/29

(21) Anmeldenummer: 03773649.3

(22) Anmeldetag:  17.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7B05D 5/06, B05D 3/14, B05D 7/24, C23C 16/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/011553
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/037446 (06.05.2004 Gazette  2004/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 18.10.2002 DE 10248775

(71) Anmelder: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE
1015 Lausanne (CH)

(72) Erfinder:
  • HOFFMANN, Patrik
    CH-1066 Epalinges (CH)
  • KULIG, Gerit
    CH-1028 Preverenges (CH)
  • BARBIERI, Laura
    CH-1007 Lausanne (CH)

(74) Vertreter: Hertz, Oliver, Dr. et al
v. Bezold & Sozien,Akademiestrasse 7
80799 München
80799 München (DE)

   


(54) GASPHASENABSCHEIDUNG VON PERFLUORIERTEN ALKYLSILANEN