(19)
(11) EP 1 554 218 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
15.07.2004

(43) Veröffentlichungstag:
20.07.2005  Patentblatt  2005/29

(21) Anmeldenummer: 03759810.9

(22) Anmeldetag:  21.02.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81B 7/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/000552
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2003/106328 (24.12.2003 Gazette  2003/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO

(30) Priorität: 12.06.2002 DE 10226033

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • NUECHTER, Wolfgang
    71732 Tamm (DE)
  • FISCHER, Frank
    72810 Gomaringen (DE)
  • HAAG, Frieder
    72827 Wannweil (DE)
  • GRAF, Eckhard
    72810 Gomaringen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN